Въпроси и отговори за ключова собственост Запалим ли е HMDS?Да - HMDS е класифициран като силно запалим (точка на възпламеняване 17 градуса). Съхранявайте и работете далече от всички източници на запалване във взривообезопасени-съоръжения. |HMDS разтворим ли е във вода?Не - HMDS реагира с вода и влажен въздух, хидролизирайки до хексаметилдисилоксан (HMDSO) и амоняк. Всички степени трябва да се поддържат строго безводни. |Какво представлява формулата HMDS?C₆H₁₉NSi₂, структурна формула (CH3)3Si–NH–Si(CH3)3, MW 161,39 g/mol. |Токсичен ли е HMDS?HMDS е вреден при вдишване, контакт с кожата и поглъщане. Класифициран е като остро токсичен (Категория 4 по GHS). Пълният SDS/MSDS се предлага при поискване. |Какво е HMDS pKa?pKa на конюгираната киселина (HMDS·H⁺) е приблизително 30 в THF, което прави HMDS умерено силна основа, широко използвана в органичния синтез за образуване на енолат и реакции на депротониране.

Спецификация	Индустриален клас Повърхностна обработка / пълнители	Фармацевтичен клас Синтез на лекарства (GMP)	Електронен клас Полупроводникова литография
Чистота (GC)	По-голямо или равно на 98,0%	По-голямо или равно на 99,5%	По-голямо или равно на 99,999% (5N) до 6N за напреднали възли
Водно съдържание	По-малко или равно на 0,1%	По-малко или равно на 0,02%	По-малко или равно на 0,005% (По-малко или равно на 50 ppm)
Цвят (Pt-Co)	По-малко или равно на 30	По-малко или равно на 10	По-малко или равно на 5
Точка на кипене	125-127 градуса	126,0–126,5 градуса	126,2 ± 0,2 градуса
Пламна точка	17 градуса (затворена чаша)	17 градуса (затворена чаша)	17 градуса (затворена чаша)
Метални примеси	Не е посочено	Единичен йон По-малко или равно на 10 ppm	Единичен йон По-малко или равно на 1 ppb (ppt ниво за 14nm възли)
Срок на годност	6 месеца (N₂-запечатано)	12 месеца (N₂-запечатано, тъмно)	18 месеца (ултра-чист N₂-запечатан)
Опаковка	180 кг стоманен варел 1000 кг IBC несесер	20L HDPE варел 200L N₂-запечатан стоманен варел	10L варел с кварцово покритие 200L ултра-чист стоманен варел

1. Полупроводникова литография - фоторезист активатор на адхезия

HMDS е индустриалният-стандартпромотор на адхезията, грунд и хидрофобен покриващ агентв литографията на силиконова пластина, отчитайки над40% от общото потребление на HMDS. Приложен като пар-фазов грунд (VPP) преди фоторезистното покритие, HMDS реагира с повърхностните хидроксилни групи (Si–OH) върху пластината, за да образува плътен хидрофобен триметилсилилов слой. Това драстично подобрява адхезията на фоторезиста, предотвратява отлепването на резиста по време на проявяване и елиминира образуването на перли по ръба -, осигурявайки прецизно фино моделиране на веригата до28n възли и по-ниски.

Тъй като усъвършенстваните полупроводникови възли напредват до 14nm, 7nm и след това, изискванията за чистота са ескалирали до5N (99,999%) и 6N степени, с метални примеси, контролирани на ниво ppb–ppt. Нашите HMDS продукти с електронен -клас използват усъвършенствана технология за отстраняване на следи от метал, отговаряща на стандартите за квалификация на водещи фабрики, включително SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory и UMC.

Справка:Стандарти SEMI - Чистота на полупроводниковите материали ↗

2. Фармацевтична индустрия - Силилиращ агент за синтез на лекарства

Във фармацевтичния синтез HMDS се използва широко като aсилилиращ агентза защита на реактивни протични функционални групи (–OH, –NH₂, –COOH) в лекарствени междинни продукти, предотвратяване на нежелани странични реакции и значително подобряване на селективността на реакцията и добива на целевия продукт. Той е ключов реагент в синтеза на анти-туморни, антивирусни и антиалергични активни фармацевтични съставки (API).

Нашият фармацевтичен -клас HMDS (по-голяма или равна на 99,5% чистота, GMP-съвместим) е валидиран от водещи фармацевтични CDMO предприятия и осигурява стабилно партидно качество, което е от съществено значение за научноизследователска и развойна дейност на лекарства и-мащабно производство.

Справка:Фармакопея на САЩ (USP) ↗

3. Материали и повърхностна обработка - Хидрофобизиращ агент

HMDS е много ефективенхидрофобизиращ агентза неорганични пълнители като пирогенен силициев диоксид и титанов диоксид. Повърхностната модификация с HMDS значително подобрява съвместимостта пълнител-матрица в композитите от силиконов каучук и епоксидна смола, подобрявайки механичните свойства (твърдост, якост на опън) и устойчивостта на атмосферни влияния. Използва се широко в материали за капсулиране на OLED и обработка на стъкло на фотоволтаични модули, където HMDS-модифицираните повърхности показват значително подобрена бариера срещу влага, удължавайки експлоатационния живот в сурови външни среди.

Заповърхностна обработка на стъкло, керамика и метал, HMDS образува плътен, ковалентно свързан хидрофобен филм, който предотвратява абсорбирането на влага и корозията.

Справка:PubChem - хексаметилдисилазан (NIH) ↗

4. Аналитична химия и фини химикали

В аналитичната химия HMDS се използва катодериватизиращ реагентза GC анализ на протонни съединения (алкохоли, феноли, карбоксилни киселини). Силилираните производни показват по-висока летливост и подобрено хроматографско разделяне, което позволява прецизен количествен анализ на следи от вещества в сложни матрици.

При фините химикали HMDS служи като междинен продукт за силиконови повърхностноактивни вещества от висок клас и силиконови смоли, използвани в ежедневните химикали и печат върху текстил. Предвижда се пазарът на електронен -клас HMDS да нарасне с CAGR от 18,3% до 2026 г., движен от ускоряване на локализирането на полупроводници и разширяване на фармацевтичния CDMO капацитет.

Справка:Регистрация в ECHA REACH - HMDS ↗

5. HMDS като основа - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS

Освен ролята си на силилиращ агент, HMDS е ключов прекурсор на широко използваните метални амидни основи:LiHMDS(литиев хексаметилдисилазид, литиев бис(триметилсилил)амид),NaHMDS(натриев хексаметилдисилазид) иKHMDS(калиев хексаметилдисилазид). Тези силни, възпрепятствани основи са основни реагенти във фармацевтичния и финия химичен синтез за селективно образуване на енолат, насочено депротониране и асиметрични реакции, където пространственият обем и хемоселективността са критични.

LiHMDS(CAS 4039-32-1) е най-широко използваният, ценен заради високата си основност (pKa ~30 в THF) и отлична разтворимост в етерни разтворители.NaHMDSиKHMDSпредлагат нарастваща реактивност и се използват, когато LiHMDS е недостатъчно реактивен. И трите се произвеждат от HMDS като основен изходен материал, което прави доставката на HMDS с висока-чистота критична за тяхното производство.

Доставяме HMDS с висока{0}}чистота, подходящ като суровина за производство на LiHMDS, NaHMDS и KHMDS. Свържете се с нас за групови спецификации.

⚠️ ВАЖНА БЕЛЕЖКА ЗА БЕЗОПАСНОСТ:HMDS есилно запалим(точка на възпламеняване 17 градуса) и реагира бурно с вода, отделяйки амоняк. Съхранявайте и боравете изключително в азотно-защитена,-взривообезопасена среда. Не използвайте вода за гасене на пожари на HMDS.

Съвети за групово ценообразуване:Поръчки над 50 MT обикновено отговарят на условията за 5–10% отстъпка; 200+ Договорите за MT/година могат да отключат 10–15% спестявания. Доставката с камион-цистерна намалява-товара на единица с 8–12% в сравнение с опаковане на варели. Дългосрочните-споразумения (1–3 години) включват приоритетно разпределяне на доставките по време на пиковите сезони на търсене на полупроводници.Поискайте персонализирана ценова оферта за HMDS →

Въпрос: Какво означава HMDS? Какво представлява пълната форма на HMDS?

HMDS означаваХексаметилдисилазан- пълното химическо наименование е 1,1,1,3,3,3-хексаметилдисилазан, изписван също като хекса метил дисилазан. В химията HMDS конкретно се отнася до това органосилициево съединение (CAS 999-97-3) със структурата (CH3)3Si–NH–Si(CH3)3. Забележка: „HMDS“ също се използва като съкращение в несвързани области (напр. медицински, военен или селскостопански контекст), но в контекста на химията и производството на полупроводници, HMDS неизменно означава хексаметилдисилазан.

Въпрос: За какво се използва HMDS в производството на полупроводници?

HMDS се използва като промотор на адхезията на паро{0}}фаза (грунд), нанесен върху повърхности на силициеви пластини преди фоторезистентно покритие. Той реагира с повърхностни Si–OH групи, за да образува хидрофобен триметилсилилов монослой, който драстично подобрява адхезията на фоторезиста, предотвратява разслояването по време на мокро проявяване и осигурява точност на размерите на фините вериги. Това е стандартен технологичен материал в почти всяка фабрика за силициеви пластини в световен мащаб, от наследените 200 mm до водещите 300 mm EUV литографски линии.

Въпрос: Каква е разликата между индустриален клас и електронен клас HMDS?

Промишлен клас (по-голям или равен на 98,0%) е подходящ за повърхностна обработка на пълнители (парен силициев диоксид, TiO₂), покрития и общи приложения за силилиране, където съдържанието на следи от метал не е критично. Електронна степен (по-голяма или равна на 99,999%, 5N) изисква отделни метални примеси под 1 ppb - задължително за полупроводникова литография, където под-ppb метално замърсяване би причинило повреди на устройството. Electronic Grade се опакова при ултра-чисти условия ISO 14644 в кварцови-облицовани или сертифицирани ултра{11}}чисти стоманени варели, като всяка партида е придружена от пълен ICP-MS доклад за следи от метали.

Въпрос: Защо HMDS реагира с вода и как трябва да се съхранява?

HMDS съдържа Si–N–Si връзка, която е силно податлива на хидролиза: (CH3)3Si–NH–Si(CH3)3 + H₂O → 2 (CH3)3SiOH + NH3. Освободеният амоняк създава натрупване на налягане в запечатани контейнери и полученият хексаметилдисилоксан (HMDSO) замърсява продукта. Следователно всички сортове трябва да се съхраняват под сух азот в запечатани контейнери при 0–25 градуса, далеч от всякакви източници на влага. Отворените контейнери трябва незабавно да се запечатат повторно и да се покрият с азот след всяка употреба.

В: Какво е HMDS и как се различава от HMDSO?

HMDS (хексаметилдисилазан, CAS 999-97-3) съдържа Si–N–Si връзка и е активният силилиращ реагент. HMDSO (хексаметилдисилоксан, CAS 107-46-0) съдържа Si–O–Si връзка и е страничен продукт от хидролизата на HMDS – той е много по-малко реактивен. HMDS се използва като химически повърхностен модификатор и реагент за силилиране; HMDSO се използва главно като нереактивна силиконова течност и суровина за синтеза на HMDS. Двете не трябва да се бъркат, когато се определят материали за литография или фармацевтични процеси.

Въпрос: Какви сертификати трябва да изисквам от доставчик на HMDS?

За индустриални приложения: ISO 9001 (управление на качеството) и ISO 14001 (околна среда). За фармацевтичен клас: съответствие с GMP, възможност за предоставяне на USP/EP-референтна COA и-отчети за QC на трети страни. За електронен клас: потвърждение на квалификацията на полупроводниковата фабрика надолу по веригата (напр. сертификати SMIC, UMC), съответствие със стандартите за SEMI F47 или еквивалентни материали, пълен ICP-MS отчет за следи от метали за партида и сертифицирана по ISO 14644 чиста опаковка. Всички класове трябва да имат текущи регистрации по REACH и TSCA за международен износ.

Въпрос: Какви са основните алтернативи на HMDS и кога се предпочита HMDS?

Обичайните алтернативи на силилиращи агенти включват триметилхлорсилан (TMCS), N-метил-N-триметилсилилацетамид (MSA) и N,O-бис(триметилсилил)ацетамид (BSA). HMDS се предпочита, когато се изискват меки реакционни условия (без HCl страничен -продукт), когато високият добив на силилиране е критичен или когато процесът изисква минимално замърсяване от киселинни или корозивни странични-продукти -, което го прави стандартен избор за обработка на полупроводникови пластини и фармацевтичен синтез. За масова индустриална хидрофобизация, където цената е основният двигател, TMCS може да се използва като алтернатива с по-ниски-разходи.